Описание

Газобаллонный шкаф служит для подачи фторида азота и азота из двух баллонов до потребителя через встроенную газовую панель. В качестве продувочного используется инертный газ азот (N2) от внешнего источника или из баллона, устанавливаемого в шкаф. Давление рабочего газа устанавливается и поддерживается на заданном уровне с помощью ручных регуляторов давления и контролируется электронными датчиками давления.

Для удобной, безопасной и эффективной работы ШГБ, в том числе с опасными газами, применяются следующие компоненты:

- мембранная запорная и регулирующая арматура;
- средства измерения давления;
- газодетектор воздушной среды внутри ШГБ для контроля утечки газа;
- система управления (блок автоматики) на основе промышленного контроллера (PLC);
- панель управления (дисплей с тачскрином) для манипулирования запорной арматурой и выбора режима работы;
- регулируемый датчик наличия вытяжной вентиляции;
- дифференциальный манометр – индикатор работы вентиляции;
- светозвуковая колонна для оповещения персонала о состоянии системы;
- баллонные весы для измерения остаточного количества газа в жидкой фазе;
- спринклерная головка для пожаротушения, за исключением случаев, когда реакционная способность воды является опасной для используемого газа;
- предохранительные клапаны, предотвращающие возникновение избыточного давления в технологической линии и последующем оборудовании;
- автоматический нормально-закрытый аварийный клапан (EmV) на пигтейлах рабочих газов;
- кнопка «ЕМО» на двери шкафа для аварийного отключения всей системы;
- предупреждающие и информационные таблички на наружной дверце шкафа, на встроенной газовой панели и других элементах ШГБ;
- защитное ударопрочное смотровое окно из поликарбоната толщиной 6 мм на двери шкафа с ключевым доступом;
- система защиты паролем (опция) – предотвращает несанкционированное использование или изменение настроек панели управления.

Технические характеристики ШГБ приведены в приложении Г. В разделах 3.1…3.3 приведено техническое описание пневматических и электрических компонентов, устанавливаемых в ШГБ.

⦁ Газовая панель UPA-7012-145/15-145/22-DIN6/F4-316L
Рабочий газ – NF3, канал продувки – N2

Входное давление, МПа [psi]	до 1  – NF3, до 20 – N2
Выходное давление, МПа [psi]	0…1 [0…145]
Коэффициент потока	Cv>0,15
Присоединение	торцевое уплотнение 1/4", совместимое с Swagelok VCR®,  баллонный фитинг DIN 477-1 №6(NH3), №9(N2)
Температурный диапазон	от минус 40 до 60С
Максимальная утечка (гелий)	1·10-10 Па·м3/с, 1·10-9 станд.см3/с (sccs)
Масса, не более	18 кг

Характеристики