Баблеры и барботеры (DOT-4B)

Баблеры (bubblers) от фирмы Orwell - это отличное решение для атомнослоевого осаждения, газофазной молекулярной эпитаксии и CVD процессов. Для жидких, газообразных и твердых прекурсоров.
Производитель: ORWELL
Цена: По запросу
Наличие: Под заказ
ОПИСАНИЕ

Баблеры (bubblers) от фирмы Orwell - это отличное решение для атомнослоевого осаждения, газофазной молекулярной эпитаксии и CVD процессов. Для жидких, газообразных и твердых прекурсоров.

Баблеры для доставки прекурсоров высокой чистоты (Bubblers) для использования в приложениях осаждения на основе химического осаждения (CVD), нанесения металлического химического осаждения из паров газа или жидкости (MOCVD) и атомнослоевого осаждения (ALD).

Баблеры являются неотъемлемой частью подачи химикатов высокой чистоты в отрасли производства микроэлектроники. Эффективная подача химических веществ зависит от конструкции, целостности и производительности баблера. Будь то существующий дизайн, или что-то совершенно новое и инновационное, у нас есть опыт и знания, которые помогут вам решить текущие задачи. 


СПЕЦИФИКАЦИЯ


ORWELL предлагает электрохимполированные баблеры из нержавеющей стали для CVD / ALD со следующими характеристиками:


  • Вертикальные и горизонтальные конфигурации
  • Доступны разные объемы: 150 мл, 300 мл. 600 мл, 1000 мл, 1200 мл, 2000 мл, 2500 мл и 3000 мл
  • Другие размеры возможны
  • Выбор между линейными клапанами или клапанами, которые повернуты на 90 градусов от заливного отверстия
  • Имеются с погружными трубками и без них, а также погружные трубки различной длины
  • Доступны с клапанами с мембранным уплотнением
  • Доступны клапаны, предназначенные для работы при высокой температуре (315 ° C).


Оформите заявку на нашем сайте, мы свяжемся с вами в ближайшее время и ответим на все интересующие вопросы.